Monthly Archives: 3 2015


単結晶シリコンマイクロ構造の引張強度

単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です.単結晶シリコンは脆性材料であることから,破壊強度はさまざまな要因によって大きく変化することが報告されてます.本研究では […]


DNAオリガミのシリコン基板上選択的固定

多種多様なナノ材料で構成されるナノ機能構造の集積化によるMEMSの高機能化が期待されています.そのアプローチの一つとして,ナノ材料を配置したDNAオリガミをシリコン基板上にセルフアセンブルすることでMEMSにナノ機能構造を集積化する手法確立 […]


プロセス最適化シミュレータ

MEMSの加工技術として厚膜フォトレジストの3次元形状加工・グレースケールフィソグラフィが注目されています。しかし設計した通りに3次元形状の高精度作成が難しく、最適な加工パラメータ(例:マスクパタンー、焦点位置、現像時間)の組み合わせを決定 […]


平成26年度工学研究科長賞

修士1回生が昨年7月に開催された第5回国際ナノ・マイクロ技術コンテスト(iCAN14)で準優勝,第3位を受賞したことに対して,平成26年度工学研究科長賞を受賞しました.3月20日に桂ラウンジで授賞式が開催され,代表で寺島君,邊見君,中野君, […]


へき開破壊によるナノギャップ創製

近年,ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり,熱発電デバイスへの応用が期待されています.そのため,ナノギャップにおける電気特性と熱移動特性の評価が必要となっています.また,現在のナノギャップの作製手法では,対向する2面 […]