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静電容量型MEMS加速度センサは民生品,自動車など幅広く利用されています. 本研究の目的は高感度,低ノイズ化です.本研究では感度の寸法効果に着目し,体積を変えずに感度を向上させるアレイ構造を提案し,実 ...

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過酷環境下で動作するMEMSデバイスの信頼性向上のためには,機械特性に及ぼす周囲環境の影響の把握が重要です.MEMSで広く用いられる単結晶シリコンは室温では脆性破壊を起こし,高温では延性破壊を起こすこ ...

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単結晶シリコンはMEMSの主な構造材料の一つであり,MEMSデバイスの信頼性構造のためには機械特性の正確な把握が重要です.単結晶シリコンは脆性材料であることから,破壊強度はさまざまな要因によって大きく ...

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シリコンナノワイヤ(SiNW)は機械的・電気的特性に優れたナノ構造体であり,NEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の構成要素としての応用が期待されています.NEMS ...

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カーボンナノチューブ(CNT)は興味深い特性を併せ持つことから微小な電気回路やセンサの構成要素としての応用が期待されています.しかし現状では複数のデバイス上への一括集積化手法は確立されていません.そこ ...

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近年,ナノギャップ電極が高い熱電発電効率を実現するという報告があり,熱発電デバイスへの応用が期待されています.そのため,ナノギャップにおける電気特性と熱移動特性の評価が必要となっています.また,現在の ...