Monthly Archives: 4 2010


原子磁気センサのためのガラスフリットリフローによる犠牲マイクロ流路気密封止

本研究は微小な磁場計測を行うことを目的とした原子磁気センサの作製プロセスに取り組んでいます.特にアルカリ金属蒸気と不活性ガスが封入された微小キャビティ(セル)を作製する際に,雰囲気制御と高い気密性実現する封止技術に着目しています.具体的には […]


静電容量型超音波トランスデューサにおけるメンブレン構造の最適化

次世代の医療用超音波診断用探触子として注目されている静電容量型振動子(cMUT)において,更なる低電圧駆動化と高感度化を実現するメンブレン構造の最適設計に取り組んでいます.cMUTは電極として機能するメンブレンおよび基板から構成されており, […]


厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術

従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な3次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として,「移動マスクUV露光法」を提案し,露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して,基礎から応用までの研究を展開しています.移動マス […]