静電容量型3軸加速度センサ
高感度，低ノイズ，耐久性といった特性が要求される物理探査用加速度センサとして我々は，櫛歯型垂直変位電極を応用したSOI静電容量型3軸加速度センサを提案します．その特徴は（1）SOIウェハを用いた単一構 ...
電気等価回路を用いた静電櫛歯トランスデューサの解析
静電容量型MEMSデバイスは機械構造・電気回路・電気機械変換器からなるシステムでありセンサや光スイッチ等に広く利用されている．これらの解析には複雑な連成解析を要する．そこでシステムを等価な回路で表現し ...