Monthly Archives: 2 2007


形状記憶合金薄膜アクチュエータの基礎技術とその応用

近年加速的にデバイスの小型化が進み,これに伴い小型でかつ高性能なマイクロアクチュエータのへの要望が高まっている. 一般的なマイクロアクチュエータである静電気力駆動型は小型化・変位・応答性,また圧電駆動型は出力・応答性の点で優れている. しか […]


粒子転写法によるナノ粒子パターニング

   ナノメートルスケールの粒子は量子効果や局在表面プラズモンの発現,高い反応性などの特殊な性質を示す.本研究ではこれらの特性をデバイスや機能材料へと応用することを目指し,サブミクロン・ナノ粒子から成るナノ構造作製技術(粒子アセンブル技術) […]


薄膜材料の引張疲労試験・高温引張試験

材料のサイズが非常に小さくなると,その機械特性は従来のマクロスケールの材料とは異なります. しかしMEMSデバイスの構造設計に不可欠な薄膜材料の機械的物性(引張強度,ヤング率,疲労特性,etc.)のデータベースは不足しています. ミクロサイ […]


厚膜フォトレジストの3次元微細加工技術

従来のフォトリソグラフィ技術では実現困難な3次元微細構造を厚膜レジストで実現するための微細加工技術として,「移動マスクUV露光法」を提案し,露光機メーカーと共同開発した専用の露光機を駆使して,基礎から応用までの研究を展開しています.移動マス […]